CMP抛光液为何成为芯片国产化的瓶颈?

CMP抛光液谈不上是芯片制造工艺中的瓶颈,因为CMP抛光液早已实现国产自主化,国内企业生产的此类产品与国外的已无差异,甚至有些品类做得更好。
芯片制造工艺,可分为两道工序,一是

本文最后更新时间:  2023-01-15 20:04:23

CMP抛光液谈不上是芯片制造工艺中的瓶颈,因为CMP抛光液早已实现国产自主化,国内企业生产的此类产品与国外的已无差异,甚至有些品类做得更好。

芯片制造工艺,可分为两道工序,一是晶圆制造工序,二是晶圆上光刻集成电路图工序。

晶圆制造工序的核心技术:

CMP抛光液技术和CMP抛光垫技术

目前这两种核心技术,国内企业已经实现了技术壁垒突破,完全可以自主生产。包括相关的抛光机,国内的产品与国外的产品已经旗鼓相当。

CMP抛光液由磨料(常用的有纳米级二氧化硅粒子和纳米级三氧化二铝粒子)、稳定剂、氧化剂、PH调节剂、有腐蚀功效的表面活性剂、成膜剂等组成。

CMP抛光液的核心材料是磨料,国产的磨料技术,有的品类已经比国外产品好很多。

综上所述,CMP抛光液不能说是芯片国产化的瓶颈,目前芯片制造的技术壁垒是光刻机和光刻胶制造技术。

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