芋泥聊科技是实践者说的,尼康光刻机在黄光时就不行了,最好就是50nM产品,说明光刻线条太细时无法工作,一个就是光源,一个是镜头,光源他们可以买,镜头是看家本事,尼康镜头的早期几何尺
芋泥聊科技是实践者说的,尼康光刻机在黄光时就不行了,最好就是50nM产品,说明光刻线条太细时无法工作,一个就是光源,一个是镜头,光源他们可以买,镜头是看家本事,尼康镜头的早期几何尺寸不准,影象边缘发虚,现在肯定改进了,但是镜头的光洁度肯定不行,即使有极紫光波会也在毛玻璃一般的镜头上漫反射,无法正确在底板上成像,所以国产时必须使镜头光洁度达到1~2nM的样子才能顺利成象。