光刻机的三大部件:顶级的光源(激光系统)、高精度的镜头(物镜系统)、精密仪器制造技术(工作台)。一看就是小日本的活:它三项中独占光学镜头和精密制造,买个激光技术就齐活了!所以,
光刻机的三大部件:顶级的光源(激光系统)、高精度的镜头(物镜系统)、精密仪器制造技术(工作台)。一看就是小日本的活:它三项中独占光学镜头和精密制造,买个激光技术就齐活了!所以,小日本在三个高端光刻机企业中占有二家,尼康和佳能,原来的神是尼康!但荷兰阿斯美买下顶级激光企业、拉上蔡司、再拉上台积电三星等,反手又把小日本干掉了[捂脸][大笑][呲牙]
中国的激光在世界上也许属于中端或中高端水平。光学镜头属于低端及中端水平,你们谁用过国产单反相机镜头,也许就一二个人,光一,可能没什么人听说!精密制造及数控技术倒是妥妥的中低端水平!
所以,中国国产光刻机是90nm,低端水平。前几天有报导,光源及双工作台都准备验收,应该可以突破45nm向22、甚至16nm冲击!
中国只有激光技术世界第一,镜头超过德国与日本,机床也超过德国与日本,中国就能生产出世界第一的光刻机!现在不行,因为上述都对中国禁运!